VLSI electronics Vol. 16, Lithography for VLSI - microstructure science
- Genre
- Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic P. | 1987 | USA, New York | xi, 361 sidor. |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Academic P. | 1987 | USA, New York | xi, 361 sidor. |